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离子溅射技术对薄膜性能的影响
运用离子溅射沉积技术制备光学增透膜,着重研究离子溅射技术对制备的薄膜性能的影响, 包括表面形貌、 折射率、薄膜弱吸收、薄膜结......
期刊
离子溅射
增透膜
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薄膜结构
ion sputtering
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surface morphology
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